佳能发售新一代 i 线步进式光刻机：提升巨大

今天，佳能正式官宣，发布了最新的 i 线步进式光刻机 "FPA-5550iX"，该产品能够同时实现 0.5 μ m（微米）高解像力与 50 x 50mm 大视场曝光，该产品可用于全画幅 CMOS、头戴显示器等小型显示设备的曝光工序、高对比度微型 OLED 显示器制造等领域。

所谓 i 线也就是光源来自波长 365nm 的水银灯，和 EUV 光刻机使用的 13.5nm 波长激光等离子体光源区别明显。