韩国开发出 EUV 晶圆：三星、海力士都要买

芯研所 9 月 9 日消息三年前日本为了打压韩国，宣布限制多种先进半导体技术和材料出口给韩国，EUV 方面的产品就很敏感，不过韩国公司也在积极研发替代产品，日前 SK 财团下属的 SK Siltron 宣布研发出 10nm 级第四代 ( 1a ) DRAM 的抛光晶圆，可用于 EUV 工艺的内存芯片生产。

SK Siltron 是韩国最大、世界第三的硅晶圆公司，旗下产品主要有抛光片及外延片，前者以高精度多晶硅为基础，适用于内存及闪存芯片，后者以高精度单晶硅为基础，适用于逻辑工艺，也就是生产 CPU、GPU 之类的芯片。

三星及 SK 海力士的 DRAM 内存芯片也开始应用 EUV 工艺，所需的 EUV 级硅晶圆之前只有日本两家公司胜高及信越（他们两家是第一、第二大硅晶圆供应商）可以生产，三星也要进口日本厂商的产品。随着 SK Siltron 量产 EUV 级别硅晶圆，三星及 SK 海力士也会采购韩国公司的产品，减少对日本厂商的依赖，实现供应链多元化。